| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | plutao.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 8JMKD3MGP3W/3GDPN7S |
| Repositório | sid.inpe.br/plutao/2014/06.03.16.52 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2015:02.10.12.40.41 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/plutao/2014/06.03.16.52.57 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.04.23.39.27 (UTC) administrator |
| DOI | 10.1088/1742-6596/511/1/012084 |
| ISSN | 1742-6588 |
| Rótulo | lattes: 3956926180174007 1 PillacaKostUeda:2014:StMaFi |
| Chave de Citação | PillacaKostUeda:2014:StMaFi |
| Título | Study of magnetic field enhanced plasma immersion ion implantation in Silicon  |
| Ano | 2014 |
| Data de Acesso | 09 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 1770 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Pillaca, Elver Juan de Dios Mitma 2 Kostov, K G 3 Ueda, Mario |
| Identificador de Curriculo | 1 2 3 8JMKD3MGP5W/3C9JHSB |
| Grupo | 1 2 3 LAP-CTE-INPE-MCTI-GOV-BR |
| Afiliação | 1 Universidade Estadual Paulista (UNESP. FEG) 2 Universidade Estadual Paulista (UNESP) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 elver_jdd@feg.unesp.br 2 3 ueda@plasma.inpe.br |
| Endereço de e-Mail | marcelo.pazos@inpe.br |
| Revista | Journal of Physics: Conference Series |
| Volume | 511 |
| Páginas | 012084-012090 |
| Nota Secundária | B2_ENGENHARIAS_III B2_INTERDISCIPLINAR B3_GEOCIÊNCIAS B3_MEDICINA_II B4_ENGENHARIAS_II B4_MATERIAIS B4_BIOTECNOLOGIA C_QUÍMICA C_ENGENHARIAS_IV C_ASTRONOMIA_/_FÍSICA C_ECONOMIA C_MATEMÁTICA_/_PROBABILIDADE_E |
| Histórico (UTC) | 2014-06-03 16:52:58 :: lattes -> administrator :: 2014-06-03 16:54:17 :: administrator -> lattes :: 2014 2014-06-03 19:44:14 :: lattes -> administrator :: 2014 2018-06-04 23:39:27 :: administrator -> marcelo.pazos@inpe.br :: 2014 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Tipo de Versão | publisher |
| Resumo | A comparison between experimental measurements and numerical calculations of the ion current distribution in plasma immersion ion implantation (PIII) with external magnetic field is presented. Later, Silicon samples were implanted with nitrogen ion to analyze the effect on them. The magnetic field considered is essentially non-uniform and is generated by two magnetic coils installed on vacuum chamber. The presence of both, electric and magnetic field in PIII create a crossed ExB field system, promoting drift velocity of the plasma around the target. The results found shows that magnetized electrons drifting in ExB field provide electron-neutral collision. The efficient ionization increases the plasma density around the target where a magnetic confinement is formed. As result, the ion current density increases, promoting significant changes in the samples surface properties, especially in the surface wettability. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Study of magnetic... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | pt |
| Grupo de Usuários | lattes marcelo.pazos@inpe.br |
| Grupo de Leitores | administrator marcelo.pazos@inpe.br |
| Visibilidade | shown |
| Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft12 |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| Permissão de Atualização | não transferida |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Vinculação | Trabalho não Vinculado à Tese/Dissertação |
| Repositório Espelho | iconet.com.br/banon/2006/11.26.21.31 |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Lista de Itens Citando | sid.inpe.br/bibdigital/2013/09.25.21.49 1 |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES; SCOPUS. |
| Acervo Hospedeiro | dpi.inpe.br/plutao@80/2008/08.19.15.01 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel format isbn keywords lineage mark month nextedition notes number orcid parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarykey session shorttitle sponsor subject targetfile tertiarytype typeofwork url |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marcelo.pazos@inpe.br |
| atualizar | |